Kwartswafelreinigingsboot
Een kwartswafelreinigingsboot is een apparaat dat wordt gebruikt voor het reinigen van wafels in het productieproces van halfgeleiders.
Materiaal: 99,99% kwarts
Beschrijving
Functies
- Bestand tegen hoge temperaturen
- Corrosiebestendigheid
- Slijtvastheid
- Gemakkelijk schoon te maken
Gebruik: oppervlakteverontreinigingen verwijderen
Garandeer de productiekwaliteit van halfgeleiderchips.
Sollicitatie
1. Pre-diffusiereiniging
Wordt gebruikt om wafers te transporteren via reinigingsstappen op een natte bank of onderdompeling (bijv. RCA-reiniging) om organische, metallische en deeltjesvormige verontreinigingen te verwijderen vóór diffusie- of oxidatieprocessen bij hoge temperatuur.
2. Post-CMP-reiniging (chemisch-mechanische planarisatie).
Houdt wafers vast tijdens het reinigen na- het polijsten om slurryresten en oppervlaktedefecten te elimineren, waardoor een optimale vlakheid voor daaropvolgende lithografische stappen wordt gegarandeerd.
3. Voor-Einde-van-Lijnfabricage (FEOL)
Wordt gebruikt in kritische FEOL-reinigingsfasen waar ultra-schone oppervlakken nodig zijn voor poortoxidegroei, epitaxiale afzetting of ionenimplantatie.
4. Terug-Einde-van-regelverwerking (BEOL)
Ondersteunt wafers tijdens post-etsen of post-depositiereiniging om fotoresist, etsbijproducten en metallische onzuiverheden te verwijderen na de vorming van verbindingen.
5. Geavanceerde verpakking
Vergemakkelijkt het reinigen op wafelniveau- vóór het in blokjes snijden of verbinden in 2,5D/3D IC-verpakkingen, waardoor contaminatievrije- interfaces worden gegarandeerd voor betrouwbare verbindingen.
6. Fotovoltaïsche productie
Gebruikt bij de productie van zonnecellen om siliciumsubstraten te reinigen, waardoor de oppervlaktekwaliteit wordt verbeterd voor een betere lichtabsorptie en energieomzettingsefficiëntie.
Eigenschappen
|
Fysieke eigenschappen |
Waarden |
|
Zuiverheid |
＞99.99% |
|
Dikte |
2,2 g/cm33 |
|
Transparantie |
＞90% |
|
Mohs-hardheid |
5.5--6.5 |
|
Vervormingspunt |
1280 graden |
|
Verzachtingspunt |
1750 graden |
|
Gloeipunt |
1250 graden |
|
Soortelijke warmte (20 - 350 graad ) |
670J/kg. rang |
|
Thermische geleidbaarheid (20 graden) |
1,4 W/m². rang |
|
Warmtegeleidingsvermogen (w/mk, 1000 graden) |
1.0-1.2 |
|
Brekingsindex |
1.4585 |
|
Coëfficiënt van thermische uitzetting |
5.510 -7cm/cm. rang |
|
Heet - werktemperatuur |
1750--2050 graden |
|
Servicetemperatuur op korte termijn van - |
1450 graden |
|
Servicetemperatuur op lange termijn van - |
1100 graden |
|
Chemische eigenschappen |
Waarden |
|
Zuurbestendig |
Sterk zuur (behalve HF), sterke alkali, organische oplossing |
|
Hoge temperaturen Corrosiebestendig |
Uitstekend |
|
Metaalonzuiverheidsgehalte |
<5 ppm |
|
Elektrische eigenschappen |
Waarden |
|
Weerstand |
7107Ω.cm |
|
Isolatiesterkte |
250~400Kv/cm |
|
Diëlektrische constante |
3.7~3.9 |
|
Diëlektrische absorptiecoëfficiënt |
＜410-4 |
|
Diëlektrische verliescoëfficiënt |
＜110-4 |
|
Mechanische eigenschappen |
Waarden |
|
Druksterkte |
1100 MPa |
|
Buigsterkte |
67 MPa |
|
Treksterkte |
48 MPa |
|
Poisson-ratio |
0.14~0.17 |
|
Young-modulus |
72000 MPa |
|
Afschuifmodulus |
31000 MPa |
Reinigingsmethoden
Dompelreiniging:
Plaats de wafel in de reinigingsboot, dompel de reinigingsboot vervolgens onder in de reinigingsvloeistof en vergroot het contact tussen de reinigingsvloeistof en het wafeloppervlak door de wafelboot op te tillen om het reinigende effect te verbeteren.
Sprayreiniging:
Zet de reinigingsboot rechtop in de sproeikamer en gebruik het mondstuk om de reinigingsvloeistof op het wafeloppervlak te spuiten om verontreinigingen te verwijderen.
Belang van het schoonmaken van boten:
- Zorg voor reinheid van de wafer: Een schoon waferoppervlak is cruciaal voor de productiekwaliteit van halfgeleiderchips, en de reinigingsboot speelt een cruciale rol in het reinigingsproces.
- Garandeer de betrouwbaarheid van halfgeleiderchips: Garandeer de betrouwbaarheid van chips en verminder productdefecten door oppervlakteverontreinigingen te verwijderen.
- Verbeter de opbrengst van halfgeleiderchips: Verbeter de netheid van wafers, waardoor de opbrengst van halfgeleiderchips wordt verbeterd.
Populaire tags: kwartswafelreinigingsboot, China kwartswafelreinigingsbootfabrikanten, leveranciers, fabriek
Aanvraag sturen
Misschien vind je dit ook leuk
